| 详细介绍 |
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工业半导体净化室的理想检测仪
更适于低浓度气体检测（ppm级）
抗干扰性强
盒式带取放简便
盒带剩余量显示 |
| 功能描述 |
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| 检测原理： |
使用盒式纸带的光电光度学原理 |
| 检测纸带： |
盒式纸带,VHS型快速更换型盒带 |
| 电源和耗电量： |
AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在检测状态耗能为35VA，在纸带卷动时耗能为60VA) |
| 物理特性 |
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| 长度 |
370mm |
| 宽度 |
275mm |
| 高度 |
220mm |
| 重量 |
约12kg |
| 持有证书 |
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CE |
| 其它 |
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检测气体和范围
| 检测气体 | TLV值 | 检测范围 | 解析值 | | 磷 PH4 | 300ppb | 0##900ppb | 5 | | 四氢化硅 SiH4 | 5ppm | 0##15ppm | 0.25 | | 乙硼烷 B2H6 | 100ppb | 0##300ppb | 5 | | 砷烷AsH3 | 50ppb | 0##150ppb | 1 | | 乙硅烷 SiH6 | 5ppm | 0##10ppm | 0.1 | | 硫化氢 HS2 | 10ppm | 0##100ppm | 1 | | 光气 COCl2 | 100ppb | 0##300ppb | 2 | | 氯气 Cl2 | 0.5ppm | 0##100ppb | 1 | | 硒化氢 H2Se | 50ppb | 0##300ppb | 2 | |
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